Разбавители позитивных фоторезистов
Соответствие фоторезистов и разбавителей.
ТУ-2378-009-29135749-2008 с извещениями № 1 и № 2.
| 1 |
Сольвент РПФ-У |
ФП-10Ф, ФП-15Ф, ФП-20Ф, ФП-М-09, ФП-РН-7С, ФП-4-04, ФП-051Шу, ФП-9120 |
|
| 2 |
Сольвент РПФ-МФ |
ФП-2506 - ФП-3535 |
Серия S 1800, серия AZ 1500, серия AZ 6600, серия AZ 4500, серия AZ 9200 |
| 3 |
Сольвент РПФ-383Ф |
ФП-383 |
|
| 4 |
Сольвент РПФ-25Ф |
ФП-25, ФП-201, ФП-4-04Т |
|
| 5 |
Сольвент РПФ-Cэ |
ФП-РН-7Сэ |
|
| 6 |
Сольвент РПФ-9120Ф |
ФП-9120 |
|
| 7 |
Сольвент РПФ-9120Э |
ФП-9120 экстра |
|
| 8 |
Сольвент РПФ-2550Ф |
ФП-2550 |
|
| 9 |
Сольвент РПФ-250Э |
ФП-2550 экстра |
|
| 10 |
Сольвент РНФ-ОК-1 |
ФН-11СКн, ФН-11Сн, ФН-11С-ФД |
|
| 11 |
Сольвент РНФ-ОК-2 |
ФН-11С-МФ |
|
Параметры разбавителей
| 1 |
Сольвент РПФ-У |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
Не нормируется |
| 2 |
Сольвент РПФ-МФ |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
1 |
| 3 |
Сольвент РПФ-383Ф |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
Не нормируется |
| 4 |
Сольвент РПФ-25Ф |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
Не нормируется |
| 5 |
Сольвент РПФ-Сэ |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
Не нормируется |
| 6 |
Сольвент РПФ-9120ФУ |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
Не нормируется |
| 7 |
Сольвент РПФ-9120Э |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
1 |
| 8 |
Сольвент РПФ-2550Ф |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
Не нормируется |
| 9 |
Сольвент РПФ-250Э |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
1 |
| 10 |
Сольвент РНФ-ОК-1 |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
Не нормируется |
| 11 |
Сольвент РНФ-ОК-2 |
Бесцветная жидкость |
0,2 |
1 |
Область применения: Разбавители
позитивных фоторезистов используются для уменьшения толщины пленки позитивных фоторезистов. Уровень микрофильтрации
этих разбавителей составляет 0,2 мкм.
|
