|
Фоторезисты ФП-3535 и Microposit S1828 предназначены для использования в стандартных процессах в производстве СБИС.
Сравнительная таблица характеристик
| 1 |
Внешний вид фоторезиста |
Жидкость желто-коричневого цвета |
Жидкость желто-коричневого цвета |
| 2 |
Внешний вид пленки фоторезиста |
блестящая без разрывов |
блестящая без разрывов |
| 3 |
Уровень фильтрации |
0,2 |
0,2 |
| 4 |
Разрешающая способность, мкм, не более |
*0,5 |
*0,5 |
| 5 |
Толщина пленки фоторезиста, мкм |
3.4 ± 3% |
3.4 ± 3% |
| 6 |
Число оборотов при нанесении, об/мин |
3000 |
3000 |
| 7 |
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее |
>45 |
>45 |
| 8 |
Рекомендуемый проявитель |
УПФ-1Б или MF 26A |
MF 26A |
| 9 |
Растворитель |
Метоксипропилацетат |
Метоксипропилацетат |
| 9 |
Сниматель |
СПР-01Ф |
Remover SVC-14 |
| 10 |
Спектральная светочувствительность, нм |
310 - 440 |
310 - 440 |
| 11 |
Содержание микропримесей металлов, ppb |
менее 100 |
менее 100 |
Примечания: при толщине 1,25 мкм, горячая плита
|
