|
Фоторезист ФП-2538 является аналогом толстслойного фоторезиста фирмы Merck AZ 4533
Сравнительная таблица характеристик
| 1 |
Внешний вид фоторезиста |
Жидкость желто-коричневого цвета |
Жидкость желто-коричневого цвета |
| 2 |
Внешний вид пленки фоторезиста |
блестящая без разрывов |
блестящая без разрывов |
| 3 |
Уровень фильтрации |
0,2 |
0,2 |
| 4 |
Толщина пленки фоторезиста, мкм |
3.8 |
3.8 |
| 5 |
Число оборотов при нанесении, об/мин |
3000 |
3000 |
| 6 |
Рекомендуемый проявитель |
УПФ-1Б |
AZ 351 |
| 7 |
Растворитель |
Метоксипропилацетат |
Метоксипропилацетат |
| 8 |
Сниматель |
СПР-01Ф |
AZ 100 |
| 9 |
Спектральная светочувствительность, нм |
310 - 440 |
310 - 440 |
Рекомендации по стадиям применения фоторезиста ФП-2538:
| Жидкость для снятия краевого бортика |
РПФ-У |
| Число оборотов при нанесении, об/мин |
3000 |
| Время вращения, сек |
30-40 |
| Выдержка пленки при комнатной температуре, мин |
15 |
| Термообработка |
100 0С горячая плита, 50 сек или 95 0С конвекционная печь, 60 мин |
| Экспонирование |
310-440 нм |
| Проявление |
УПФ-1Б, 1:4, 120 сек |
| Ополаскивание |
Деионизованная вода и затем изопропиловый спирт |
| Термообработка |
115 0С, 50 сек горячая плита или 60 мин конвекционная печь |
| Удаление |
Сниматель СПР-01Ф |
|
