|
Фоторезист ФП-2520, также как AZ 1518 предназначен как для жидкостных, так и сухих процессов травления подложки.
Сравнительная таблица характеристик
| 1 |
Внешний вид фоторезиста |
Жидкость желто-коричневого цвета |
Жидкость желто-коричневого цвета |
| 2 |
Внешний вид пленки фоторезиста |
блестящая без разрывов |
блестящая без разрывов |
| 3 |
Уровень фильтрации |
0,2 |
0,2 |
| 4 |
Толщина пленки фоторезиста, мкм |
2,10 ± 3% |
2,08 ± 3% |
| 5 |
Число оборотов при нанесении, об/мин |
3000 |
3000 |
| 6 |
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее |
>45 |
>45 |
| 7 |
Рекомендуемый проявитель |
УПФ-1Б или AZ 726 MIF |
AZ 726 MIF |
| 8 |
Растворитель |
Метоксипропилацетат |
Метоксипропилацетат |
| 9 |
Сниматель |
СПР-01Ф |
AZ 100 Remover |
| 10 |
Спектральная светочувствительность, нм |
310 - 440 |
310 - 440 |
| 11 |
Содержание микропримесей металлов, ppb |
менее 100 |
менее 100 |
|
