|
Таблица 1. СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
Основные параметры |
|
1
|
Внешний вид фоторезиста
|
Прозрачная жидкость желто-коричневого цвета без осадка
|
|
2
|
Внешний вид пленки фоторезиста
|
Блестящая без разрывов
|
|
3
|
Кинематическая вязкостьпри темпиратуре 20±0,50С |
13-17 |
13-17 |
|
4
|
Толщина пленки фоторезиста, мкм
|
1,1-1,3 |
1,1-1,3 |
|
5
|
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю не менее, мин
|
>30 |
>30 |
|
6 |
Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более |
1,05 |
1,15 |
|
7 |
Проявитель |
|
УПФ-1Б или MF-26A |
|
Справочные параметры |
|
8 |
Минимальная ширина воспроизводимого элементы, мкм |
1,0 |
0,8 |
|
9 |
Уровень фильтрации фоторезиста, мкм |
0,2 |
0,1 |
|
10 |
Адгезия пленки фоторезиста к поверхности окисла кремния |
Отсутствие отслаивания элементов шириной 2 мкм |
|
11 |
Массовая доля воды в фоторезисте, % не более |
1,0 |
0,5 |
|
12 |
Термостойкость пленки фоторезиста, 0С |
130 |
130 |
|
13 |
Светочувствительность, мДж/см2 |
40 |
40 |
|
14 |
Содержание микропримесей металлов, % |
10-3 |
10-4 |
|
15 |
Сниматель |
|
СПР-01Ф |
|
16 |
Гарантийный срок хранения, месяцев |
6 |
12 |
Примечания:
Желтым цветом выделены отличающиеся параметры фоторезистов квалификации обычный и экстра
|
