Фоторезист ФП-383 эко
Фоторезист относится к классу экологически безопасных для персонала и окружающей среды.
Изготовлен на основе экологически безопасного растворителя 1-метокси-2-пропилацетата.
Гарантийный срок хранения составляет 12 месяцев.
| 1 |
Внешний вид фоторезиста |
Жидкость красно-коричневого цвета |
| 2 |
Внешний вид пленки фоторезиста |
Гладкая без разрывов |
| 3 |
Разрешающая способность, мкм, не более |
1,0 |
| 4 |
Уровень фильрации, мкм |
0,2 |
| 5 |
Толщина пленки фоторезиста при 3000 об/мин, мкм |
1,0÷1,2 |
| 6 |
Кинематическая вязкость при (20±2)0С, сСт |
13.0÷18.0 |
| 7 |
Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, не менее, мин |
15,0 |
| 8 |
Рекомендуемый проявитель |
УПФ-1Б (1:4) |
| 9 |
Рекомендуемый сниматель |
СПР-01Ф |
| 9 |
Гарантийный срок хранения, мес |
12 |
Область применения: фоторезист ФП-383 ЭКО
предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве
полупроводниковых приборов и интегральных схем, металлизированных шаблонов,
шкал, сеток, печатных плат. Фоторезист ФП-383 ЭКО может использоваться как для
контактной, так и для проекционной фотолитографии.
Морозостойкость фоторезиста ФП-383 ЭКО допускает кратковременную,
не более 7 суток, перевозку при температурах в диапазоне температур до минус 50С.
|
