Фоторезист ФП-051Ки
Единственный отечественный фоторезист, предназначенный для процессов травления ионной бомбардировкой (РИТ)
Выпущены технические условия
ТУ 20.59.12-020-18567185-2018
| 1 |
Внешний вид фоторезиста |
Жидкость темно-красного цвета без осадка |
| 2 |
Внешний вид пленкифоторезиста |
Гладкая без радиальных полос |
| 3 |
Светочувствительность мДж/см2, не хуже |
60 |
| 4 |
Разрешающая способность, мкм, не более |
2.0 |
| 5 |
Толщина пленки фоторезиста, мкм |
1,5-1,6 |
| 6 |
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее |
30,0 |
| 7 |
Термостойкость, 0C, не менее |
130 |
| 8 |
Содержание примесей металлов, % |
10-4 |
| 9 |
Уровень фильтрации, мкм |
0.2 |
| 10 |
Рекомендуемый проявитель |
УПФ-1Б |
| 11 |
Рекомендуемый сниматель |
СПР-01Ф |
|
